定格容量:10,000 L または 20,000 L ±5% 内槽材質:オーステナイト系ステンレス鋼 SS-304 (X5 CrNi 18-10) 外槽材質:炭素鋼 S355J2(エポキシコーティングによる防食仕様) 設計規格:EN 13458-2:2002 + Annex C、ASME VIII-1、PED 2014/68/EU 内槽作動圧力:最大 17 bar(ゲージ圧) 設計温度範囲:内槽 –196 °C ~ +40 °C、外槽 –20 °C ~ +55 °C 蒸発損失率(NER):≤ 0.45%/日(真空下パーライト断熱) 環状真空度:≤ 100 μm Hg(常温時) 断熱媒体:パーライト粉末(オプションで3M™グラスバブルに変更可能、蒸発損失を最大35%削減) 安全弁構成:二重ばね式安全弁、二重破裂板、手動選択バルブ
• 医療および病院用酸素:複数病棟に酸素を供給する中央医療ガス供給システムとして、呼吸治療および外科手術を支援。 • 半導体製造:プラズマエッチング、化学気相成長(CVD)、酸化プロセス向けの高純度LOX供給。微量汚染物質がウェーハ品質に影響する環境に最適。 • 産業および金属加工:酸素燃料切断、溶接、熱処理など、一定の圧力と流量を必要とする用途。 • 航空宇宙および研究:推進試験、材料科学実験、低圧蒸発制御を要する研究施設向けのオンサイトLOX供給。
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概要 低温液体酸素(LOX)貯蔵タンクは、医療から半導体製造まで、途切れることのない高純度酸素供給が求められる産業において重要なインフラです。従来の圧力容器とは異なり、これらのタンクは二重壁の真空断熱構造により、–183 °Cという極低温を維持し、外部からの熱侵入と液化ガスの蒸発損失を最小限に抑えます。CRYO-V-Oxygenは、炭素鋼製外槽内にステンレス製内槽を収め、高真空下でパーライトを充填した構造を採用しており、医療および産業用途で実証された信頼性を誇ります。このような最新型タンクは、安全性と法規制への適合を確保するだけでなく、日蒸発率を0.45%未満に抑えることで運用コストを最適化します。 用途 • 医療および病院用酸素:複数病棟に酸素を供給する中央医療ガス供給システムとして、呼吸治療および外科手術を支援。 • 半導体製造:プラズマエッチング、化学気相成長(CVD)、酸化プロセス向けの高純度LOX供給。微量汚染物質がウェーハ品質に影響する環境に最適。 • 産業および金属加工:一定圧力と流量を求める酸素燃料切断、溶接、熱処理用途。 • 航空宇宙および研究分野:推進試験、材料科学実験、低圧蒸発制御を要する研究施設向けオンサイトLOX供給。 技術仕様 定格容量:10,000 L または 20,000 L ±5% 内槽材質:オーステナイト系ステンレス鋼 SS-304 (X5 CrNi 18-10) 外槽材質:炭素鋼 S355J2(エポキシコーティングによる防食仕様) 設計規格:EN 13458-2:2002 + Annex C、ASME VIII-1、PED 2014/68/EU 内槽作動圧力:最大 17 bar(ゲージ圧) 設計温度範囲:内槽 –196 °C ~ +40 °C、外槽 –20 °C ~ +55 °C 蒸発損失率(NER):≤ 0.45%/日(真空下パーライト断熱) 環状真空度:≤ 100 μm Hg(常温時) 断熱媒体:パーライト粉末(オプションで3M™グラスバブルに変更可能、蒸発損失を最大35%削減) 安全弁構成:二重ばね式安全弁、二重破裂板、手動選択バルブ 主な特長 • 真空断熱二重壁構造:高真空下のパーライト充填により熱侵入を最小化し、安定した断熱性能を実現。 • 昇圧コイル:液中に配置された星形フィン付きコイルにより迅速な気化を促進し、外部気化器を使用せずに安定した供給圧力を維持。 • 高度安全システム:独立した2系統の安全弁と破裂板により過圧を防止。全開型手動遮断コックにより保守が容易。 • 統合サンプリングポート:腐食耐性ポートを備え、液体サンプリングや純度検証を実施。半導体・医療分野で重要。 • 可搬型真空モニタリング:熱電対センサーおよび隔離弁付き真空計により、環状部の健全性をオンライン確認可能。 運転パラメータ • 充填:上部および下部充填接続により、差圧式およびポンプ補助式充填が可能。移送時間を短縮。 • 供給:逆止弁付き液体出口を備え、圧力上昇コイル経由のガス取り出しではフィルターとレギュレーターを統合し、汚染のない蒸気供給を保証。 • 加圧範囲:ユーザー調整可能(2 bar ~ 最大17 bar)。多様な下流プロセス要求に対応。 • 排気およびパージ:初期排気用の隔離弁付き真空ポートを装備。オプションの乾燥ガスパージにより断熱層の乾燥性と性能を維持。 断熱性能 真空下パーライト充填の環状層は、コスト効率の高い熱遮断を提供し、定常状態で0.45%/日以下の蒸発損失を実現します。さらに、グラスバブルなどの先進断熱材を使用することで、熱侵入を最大35%削減し、保持時間の延長と運用コストの低減を可能にします。定期的な熱サイクル試験により断熱材の健全性を確認し、長期使用でも性能劣化を防ぎます。 安全性と圧力制御 本タンクはPESOおよび国際圧力容器指令に準拠して製造され、以下を備えています: • 二重冗長安全装置:API規格に適合したばね式安全弁2基とバックアップ破裂板。 • 選択バルブ:手動全開バルブにより、安全弁系統を隔離して減圧せずに保守可能。 • 高気密配管:ステンレス製ロングステムグローブバルブおよび軌道溶接継手で漏れを最小化。 • 第三者認証:CCOE/PESO認定機関による工場受入試験および定期検査で完全な適合性を保証。 計装および接続 • 液面計測:三方弁付き差圧式トランスミッターおよび液面ゲージによる連続監視。 • 圧力表示:ブルドン管式圧力計とデジタル圧力変換器(SCADA統合対応)。 • 真空センサー:熱電対式真空計(隔離弁および校正ポート付き)。 • プロセス統合:全接続部はEN 1092フランジ準拠。P&IDおよび3D CADモデルを現場調整用に提供。 付属品および設置条件 • 基礎:アンカーボルト付きコンクリート基礎。発注時にフットプリントテンプレートを提供。 • ユーティリティ:真空ポンプ用三相電源、環状部用乾燥窒素パージ供給、凝縮水排出ドレン接続。 • ドキュメント:包括的なマニュアル、P&ID、FAT報告書、認証書をデジタルおよび紙媒体で提供。 結論 CRYO-V-Oxygenタンクは、大容量LOX貯蔵におけるターンキーソリューションとして、業界最高水準の断熱技術、高度な安全機構、多様なプロセス接続性を兼ね備えています。医療、半導体、産業など、要求の厳しい用途においても、信頼性が高く損失の少ない酸素供給を保証し、国際規格に完全準拠します。Neometrix Engineeringは、設置からライフサイクルサポートまで、専門的なプロジェクト管理とアフターサービスを提供します。